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三维PZT木堆结构的直写成型

蔡坤鹏 , 孙竞博 , 李勃 , 周济

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2011.00495

配制了一种水基锆钛酸铅(PZT)陶瓷浆料, 通过直写无模成型的方法制备了直径为微米级的压电木堆结构. 流变学测量表明, 浆料属于剪切变稀型流体; 微观形貌观察和密度测量表明, 烧结后的样品已经成瓷, 且具有较高的致密度; X射线衍射(XRD)的测试结果表明, 烧结后的样品具有三方PbZr0.58Ti0.42O3相; 压电常数测试结果显示该结构有较好压电性, 且压电常数d33为410pC/N. 无模成型技术具有结构可设计性强, 成型速度快, 成型精度高等优点, 为压电材料和器件的设计和应用提供了新的思路.

关键词: 直写无模成型 , PZT , ink preparation , piezoelectric property

PZT和PT陶瓷的热释电效应与晶格参数的关系

孙大志 , 翟翠凤 , 金绮华 , 姚春华 , 李晓辉 , 林盛卫

无机材料学报

测量了锆钛酸铅(PZT和钛酸铅(PT)陶瓷材料的热释电效应,利用X射线衍射测量了陶瓷材料在不同温度下晶格结构变化,研究了PZT和PT陶瓷材料的热释电效应与晶格参数之间的相互关系,实验表明,陶瓷材料的热释电系数的大小与晶格参数随温度变化的情形有关,c轴与c/a比随温度变化大的材料,其热释电系数较高.

关键词: PT , PZT , pyroelectricity , XRD

锰掺杂对硬性PZT材料压电性能的影响

贺连星 , 李承恩

无机材料学报

研究了锰掺杂对PZT材料微结构及压电性能的影响,并用ESR确定了锰在PZT材料中的价态.结果表明,锰在PZT材料中主要以 Mn2+和 Mn3+的方式共存.锰在PZT陶瓷材料中的“溶解度”约为1.5mol%.锰含量<0.5mol%时,Mn将以Mn2+和Mn3+的方式优先进入晶格 Pb位,使材料的压电性能提高,表现出施主杂质特性;锰浓度处于 0.5~1.5 mol%时,部分Mn将以Mn3+或Mn2+的方式进入晶格中(Zr;Ti)位,而此浓度范围内锰掺杂的PZT材料同时表现出“软性”和“硬性”材料的压电特性.锰含量>1.5mol%时,过量的Mn将在晶界积聚,使压电活性降低.少量Fe的存在,可使Mn离子的溶解度降低,并起到抑制Mn2+和 Mn3+氧化的作用.

关键词: 锰掺杂 , PZT , piezoelectric properties

应用于MEMS的PZT铁电薄膜

于晓 , 张之圣 , 胡明

无机材料学报

薄膜制备工艺的发展使铁电薄膜很好的应用于MEMS, 使两者集成成为可能. 本文将详细论述铁电薄膜的优良性能, 及其与MEMS集成的关键工艺--图形化. 最后, 举例论述了PZT铁电薄膜在MEMS中的应用.

关键词: MEMS , ferroelectrics thin films , PZT , micro fabrication , pattern

用于非制冷热释电红外探测器的 PZT铁电薄膜研究

王忠华 , 李振豪 , 普朝光 , 杨培志 , 林猷慎

无机材料学报 doi:10.3724/SP.J.1077.2006.01223

采用溶胶-凝胶和射频磁控溅射相结合的方法制备了PZT铁电薄膜. 用溶胶-凝胶法制备一层PZT薄膜作为籽晶层, 在衬底PZT(seed layer)/Pt/Ti/SiO2/Si上用射频磁控溅射过量10%Pb的Pb(ZrxTi1-x)O3(x=0.3)陶瓷靶生长厚500nm的PZT铁电薄膜. 采用在450℃预退火, 575℃后退火的快速分级退火方法对PZT铁电薄膜进行热处理. PZT铁电薄膜获得了较好的热释电性能, 热释电系数、介电常数、介电损耗和探测度优值因子分别为ρ=2.3×10-8C.cm-2·K-1, ε =500, tanδ =0.02, F d=0.94×10-5Pa-0.5.

关键词: 非制冷热释电红外探测器 , lead zirconate titanate(PZT) , seed layer , rapid stepping-annealing

极化对锆钛酸铅陶瓷力学性能的影响

于瑶 , 王旭升 , 李艳霞 , 姚熹

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140360

本工作所采用的样品为锆钛酸铅陶瓷PZT-5H与PZT-8,用动态力学分析仪(DMA)测试了极化前后PZT-5H与PZT-8在不同力学荷载频率下的杨氏模量和内耗与温度的关系.结果表明:PZT-5H和PZT-8的铁电-页电相变温度(瓦)分别为438 K和550 K.极化前后PZT-8的杨氏模量都高于PZT-5H,这是由于硬性取代导致PZT-8的内应力大于PZT-5H.极化后,PZT-5H与PZT-8的杨氏模量增大,本文研究了极化前后压电效应对模量变化的影响.测试得出两种样品都存在一个弛豫内耗峰.分析表明,PZT-8的弛豫内耗峰由氧空位的扩散引起,而PZT-5H弛豫内耗峰的形成机制则比较复杂,与畴壁运动及畴壁在运动过程中与点缺陷的相互作用有关.计算得出极化后两种样品的弛豫激活能增加,原因是极化导致局部内应力升高,空间电荷沿极化电场排列,两种因素都会对畴壁及空位的运动产生钉扎效应,从而使弛豫过程更加困难.

关键词: 杨氏模量 , 内耗 , DMA , PZT , 极化

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